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        [常見問題解答]碳化硅MOSFET柵極電荷陷阱問題剖析:測試思路與器件優化建議[ 2025-04-16 14:43 ]
        在寬禁帶半導體器件日益普及的趨勢下,碳化硅MOSFET由于具備高耐壓、高溫穩定性和低導通損耗等優勢,成為高頻高效功率轉換系統中的關鍵元件。然而,其柵極氧化層與界面處的電荷陷阱問題,正成為影響器件長期可靠性和動態性能的核心難題之一。一、電荷陷阱問題的形成機理碳化硅MOSFET的柵極結構通常采用SiO?作為絕緣層,但由于SiC與SiO?之間存在較多的界面態和缺陷,這些缺陷在器件工作中易形成電子或空穴陷阱,導致柵極電荷漂移,進而引起閾值電壓的不穩定變化。這種電荷積累不僅改變柵控行為,還可能在高溫、高壓環境下加劇器件的劣化
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