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        [常見(jiàn)問(wèn)題解答]高壓SiC MOSFET柵氧老化行為研究及加速測(cè)試方法探索[ 2025-04-16 14:55 ]
        在高電壓、高溫、高頻的電力電子應(yīng)用中,碳化硅MOSFET因其出色的材料特性逐漸取代傳統(tǒng)硅基器件,成為高壓領(lǐng)域的核心選擇。然而,器件的長(zhǎng)期可靠性依然是制約其大規(guī)模應(yīng)用的關(guān)鍵因素,特別是柵極氧化層的老化行為及其導(dǎo)致的性能退化問(wèn)題,已成為研究和工業(yè)界共同關(guān)注的技術(shù)焦點(diǎn)。一、SiC MOSFET柵氧老化機(jī)制概述相較于硅器件,SiC MOSFET采用熱氧化工藝形成的柵極氧化層存在較多界面缺陷,源于碳原子在氧化過(guò)程中的難以完全去除。這些殘留的碳相關(guān)缺陷在高場(chǎng)高溫條件下會(huì)加速電子捕獲,導(dǎo)致閾值電壓漂移、柵漏電流上升,嚴(yán)重時(shí)甚至引
        http://m.kannic.com/Article/gysicmosfe_1.html3星
        [常見(jiàn)問(wèn)題解答]碳化硅MOSFET柵極氧化層缺陷檢測(cè)的最新進(jìn)展與挑戰(zhàn)[ 2024-12-14 12:18 ]
        隨著電力電子和高頻通信技術(shù)的不斷發(fā)展,碳化硅(SiC)MOSFET(金屬氧化物半導(dǎo)體場(chǎng)效應(yīng)晶體管)憑借其優(yōu)異的高溫特性,成為功率半導(dǎo)體領(lǐng)域的重要材料,尤其是在高功率和高頻性能方面。然而,SiC MOSFET的性能并非完全沒(méi)有誤差,特別是在柵極氧化物(gate Oxide)這一關(guān)鍵結(jié)構(gòu)上。因此,對(duì)這些缺陷的有效檢測(cè)和表征已成為SiC MOSFET研究和應(yīng)用中的重要課題。柵氧化層的質(zhì)量直接關(guān)系到器件的擊穿電壓、開(kāi)關(guān)速度和長(zhǎng)期穩(wěn)定性,界面缺陷或材料缺失會(huì)導(dǎo)致漏電流增大、閾值電壓漂移和器件失效,進(jìn)而影響整個(gè)電路
        http://m.kannic.com/Article/thgmosfetz_1.html3星

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