來源:壹芯微 發布日期
2023-05-09 瀏覽:-場效應管的二階效應介紹
閾值變化
由閾值電壓的公式可看出,閾值電壓與制造工藝和所加體偏電壓VSB有關,所以在設計中把它當成一個常數。 當器件尺寸不斷縮小時,此模型不再精確,閾值電壓與L、W和VDS有關。
對于圖a:通常推導VT0時,假定溝道耗盡區由于所加的柵電壓引起的,而忽略了源端和漏端的耗盡區,當溝長縮小時,一個較小的電壓足以引起強反型。 所以短溝道期間的VT0隨L的減小而減小。
對于圖b:通過增加漏-源電壓也可得到類似的效應,因為增加了漏結耗盡區的寬度,結果隨著電壓的增加而降低。
熱載流子效應
短溝道器件的閾值電壓除了設計的偏差之外,也會隨時間漂移,這由于熱載流子效應的影響。 對于不斷縮小的溝道長度,電源工作電壓沒有大幅下降,使得電場強度逐漸變高,電子的速度增加,達到一定的能量就會離開硅進入柵氧中,引起可靠性問題。
圖中顯示了NMOS管經過超強度工作前后對比,工作后(虛線)IV特性變差。 所以先進的MOSFET工藝采用一種特別設計的漏區和源區,保證電場的峰值受到限制,避免載流子變成熱電子所需的臨界值。
CMOS閂鎖效應
MOS工藝會包含很多內在的雙極型管,阱和襯底之間會寄生n-p-n-p的結構。 這些期間一旦激發會導致VDD和VSS之間短路,破壞芯片。
如圖(a)中,縱向形成了PNP雙極型,橫向形成了NPN雙極型。 這樣就形成了(b)中的正反饋回路,兩個雙極型的一個正向偏置,就會為另一個提供基級電流,此時及時外界觸發條件消失,VDD和VSS之間也會有電流流動。
解決的辦法有很多種,書中提供兩種:1.使電阻Rnwell和Rpsubs最小,應該是使發射極和基級的電壓接近,從而?抑制BJT的導通條件之一的發射結正偏。 2.在傳送大電流的器件周圍加保護環,這些放置在晶體管周圍的環形阱/襯底接觸可以進一步減小電阻,從而減小寄生雙極型管的增益。
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